選型說明：

耦合基本要求： 1、精密耦合調(diào)節(jié)臺 2、帶芯片夾具 3、水平/垂直光纖夾具 4、放置從兩個方向觀察耦合區(qū) 域的CCD，垂直和水平 5、半自動 6、光學(xué)平臺 7、光源 8、光功率計 9、UV機 10、點膠機 11、探針座

以PLC耦合為例

調(diào)整FA（帶纖、單纖）與CHIP(芯片)之間的相對位置，使IL最 小（通過對光找出最小值），上膠固化使FA與CHIP（芯片）之

間固定

1、安裝物料

光纖陣列與平面波導(dǎo)裝配工藝由裝夾CHIP開始，一旦CHIP和光纖陣列FA被裝好，使用視覺系統(tǒng)將各組件調(diào)整到合適位置，然后進行預(yù)裝配工藝。如圖1、2，輸入光纖陣列（輸出光纖陣列同理）需要與平面波導(dǎo)器件做精確的平行定位。使用垂直和平行相機，所有位置僅用一次調(diào)整，就可實現(xiàn)平行定位的設(shè)置。夾具的精度將保證在以后的裝配中保持其定位關(guān)系。

圖1                                                   圖2

2、尋找初始光

組件裝夾完成后，通過校正X,Y和Z方向的偏差來進行的初始光功率耦合，如圖3所示，操作員通過圖像（水平投影+垂直投影）顯示出的各項偏差，然后手動調(diào)整來補償偏差。

圖3                                                                  圖4

當(dāng)三個器件完成初始定位，同時確認其在Z軸方向的相對位置關(guān)系后，這時需要確認輸入光纖陣列和波導(dǎo)器件之間光的耦合對準。將物鏡聚焦到波導(dǎo)器件的輸出端面。通過物鏡及初始光CCD，可以將波導(dǎo)輸出端各通道的近場圖像投射出來，進行適當(dāng)耦合后，圖像會被投射到顯示器上。 (圖4)

耦合對準（水平耦合）

1.安裝物料（如Lensed Fiber ，硅波導(dǎo)芯片）

1. 安裝物料，Lensed Fiber用V槽機械夾持固定，硅波導(dǎo)芯片用

真空吸附固定

b.在CCD監(jiān)控下，調(diào)整Fiber的位置，使其與硅波導(dǎo)芯片靠近；

先調(diào)整角度再調(diào)整XYZ位置 2.耦合對準

a.微調(diào)六軸入射端使光通過硅波導(dǎo)，并通過輸出端光功率計監(jiān) 控，直至有光信號

b.輸入端不動，微調(diào)輸出端XYZ，使得光功率值最佳，再調(diào)整輸 入端，使得光功率最佳，反復(fù)調(diào)整，直至調(diào)節(jié)任意一軸光功率  都會變差為止，此時系統(tǒng)處于光功率最佳位置（相對接近真實  值）

3.測試

接上需要測試的儀器儀表，進行測試和呈現(xiàn)

4、優(yōu)化和點膠

在此過程中，可以用輸出光纖陣列第一個通道，延X軸的方向?qū)?nbsp;波導(dǎo)各通道進行掃描，以測量其各通道的光功率，見圖8。

在整個器件完成光耦合效率優(yōu)化，并對輸入及輸出光纖陣列進行定位后，就可以使用自動點膠系統(tǒng)將各個器件進行粘接。其應(yīng)用圖示請見圖9。

5、照射UV固化

6、下料

松開夾具，取下物料。

圖8                                                                     圖9

駿河精機案例 核心耦合部分： 六軸調(diào)節(jié)架 兩組CCD觀察系統(tǒng)： 獨立式多維度觀察系統(tǒng)，每組都有四個維 度可以調(diào)節(jié)，靈活多變，節(jié)省空間，特別 適合實驗室應(yīng)用 駿河精機六軸半自動調(diào)整架： 高精度，可靠性好，耐用，設(shè)計精巧，光 軸重心低，且旋轉(zhuǎn)軸，三個旋轉(zhuǎn)軸心交叉 于空間一點，可以提高耦合效率 溫控芯片臺： 將芯片夾具和溫度控制模塊設(shè)計在一起， 小巧且實用

控制部分

控制部分為運動控制器和運控控制軟件，運動控制有三種模式，粗掃光， 爬山和精密爬山，可以設(shè)置步進，點動，能夠?qū)崿F(xiàn)自動光對準（power peak search），相關(guān)軟件爬山， 自動搜光，對光含光功率和光電流兩種軟件，含垂直和水平耦合兩種方式。

定制夾具部分

水平光纖夾具                                                              垂直光纖夾具                                                               光纖陣列夾具

水平光纖夾具：燕尾槽連接，針對250μm直徑光纖

定制垂直光纖夾具： ±10 °實現(xiàn)0-20度，連續(xù)可調(diào)

FA夾具/光纖陣列夾具：支持1-7mm寬度FA，支持8度垂直和水平光纖夾持

中間芯片臺

定制：真空吸附硅基芯片，含快速接頭， 氣管開關(guān)，氣管開關(guān)固定夾具，其他連接 等，固定1-4mm芯片，可以根據(jù)需要定制  XZ θY軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，13mm，6mm行程， 1微米靈敏度 θZ軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，360 °  行程，55"/格

含底板

防震臺

氣浮防震臺：

1.尺寸：1200*800*800mm，

2.蜂窩式光學(xué)平板：隔絕高頻振動

3.氣浮隔振腿：可以隔絕低頻振動，帶壓 縮氣泵

平臺架子：

1.帶輪子，方便移動，可以鎖定位置后固 定

2.含鋁型材架子，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定牢靠，且方便 兼容新的設(shè)計

3.亞克力罩子，防風(fēng)防塵防UV和靜電

4.帶鼠標鍵盤架子，方便放置鼠標鍵盤， 也可以換成小桌子，放置在右手邊，方便

放置部分物料，鼠標鍵盤和零散物品 5.顯示器掛架，萬向節(jié)設(shè)計

6.靜電帶手環(huán)，工業(yè)插排

7.含兩層儀器載物架，負載50Kg以內(nèi)

觀察系統(tǒng)

獨立式多維度高性能觀察系統(tǒng)	龍門架高性能觀察系統(tǒng)
0.7-4.5X光學(xué)放大倍數(shù),最大電子放大倍數(shù)270倍,1:7變焦 四維調(diào)節(jié)，行程40mm，含不銹鋼立柱，不銹鋼焊接底板，轉(zhuǎn)接扣，轉(zhuǎn)接板，鏡頭扣等夾具 鏡頭工作距離86mm 200萬像素HDMI相機，C接口，帶十字帶高清顯示器，環(huán)形燈，帶測 量，拍照，錄像，繪圖等 鏡頭可以實現(xiàn)0-90 °旋轉(zhuǎn) 注：鏡頭可以根據(jù)客戶現(xiàn)場需求選擇

探針臺

選型詳細說明

標準型半自動光耦合系統(tǒng)，很適合光纖陣列耦合，兼容單纖耦合。特別適合實驗室針對不同類型芯片的測試。如下：

案例圖展示

半自動耦合臺，高效率，靈活，適 合于實驗室和生產(chǎn)。

可以兼容單邊FA耦合，如：U形波 導(dǎo)耦合

單邊光纖跟LD的耦合，如：COC測 試

雙邊光纖跟芯片耦合，如：直波導(dǎo) 耦合測試

雙邊FA耦，如：PLC耦合封裝 透鏡耦合

我們可以通過定制不同夾具來分別 匹配大部有源和無源耦合。手動光 耦合系統(tǒng)適用性很好。

右邊是實戰(zhàn)案例。