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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測試體微缺陷測試SIRM紅外體微缺陷分析儀
產(chǎn)品簡介
SIRM是非接觸和非破壞型光學(xué)檢測設(shè)備，對體微缺陷，如氧化物和金屬沉淀，位錯、堆垛層錯，體材料中的滑線和空隙等進行測試。這個技術(shù)也可對GaAs 和 InP等復(fù)合材料進行測試。
產(chǎn)品分類
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無需制樣
最小測試缺陷尺寸10nm
測試缺陷濃度范圍:105-109cm-3
可做外延片測試
測試樣品最大尺寸300mm
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
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